Ìṣẹ̀dá 6N (≥99.9999% mímọ́) sulfur onípele gíga nílò ìfọ́mọ́ onípele púpọ̀, ìfàmọ́ra jíjinlẹ̀, àti ìfọ́mọ́ra onípele gíga láti mú àwọn irin tí a fi ń ṣe àfihàn, àwọn ohun tí kò ní ìbàjẹ́, àti àwọn èròjà onípele tí ó wà nínú rẹ̀ kúrò. Ní ìsàlẹ̀ yìí ni ìlànà iṣẹ́-ajé kan tí ó ń so ìfọ́mọ́ra onípele, ìfọ́mọ́ra oní-máìkrówéfù, àti àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ lẹ́yìn ìtọ́jú tí ó péye.
I. Ìtọ́jú Àìmọ́ Ṣáájú Àti Yíyọ Ẹ̀gbin kúrò
1. Yíyan Àwọn Ohun Èlò Aláìsí àti Ìtọ́jú Ṣáájú
- oAwọn ibeere: Ìmọ́tótó sulfur àkọ́kọ́ ≥99.9% (ìpele 3N), àpapọ̀ àwọn ohun ìdọ̀tí irin ≤500 ppm, akoonu erogba adayeba ≤0.1%.
- oYíyọ́ Tí A Ń Ranlọ́wọ́ Nínú Máíkrówéfù:
A máa ń ṣe ìtọ́jú sulfur onírúurú nínú ohun èlò ìṣiṣẹ́ máíkrówéfù (ìgbàkúgbà 2.45 GHz, agbára 10–15 kW) ní 140–150°C. Yíyí dipole tí máíkrówéfù ń fà máa ń mú kí ó yọ́ kíákíá nígbà tí ó sì ń ba àwọn ohun ìdọ̀tí oníwà jẹ́ (fún àpẹẹrẹ, àwọn èròjà tar). Àkókò yíyọ́: ìṣẹ́jú 30–45; jíjìn ìfàmọ́ra máíkrówéfù: 10–15 cm - oFífọ omi tí a ti yọ ion kúrò:
A da sulfur tí a ti yọ́ pọ̀ mọ́ omi tí a ti yọ ion kúrò (resistive ≥18 MΩ·cm) ní ìpíndọ́gba ìwọ̀n 1:0.3 nínú ohun èlò ìṣiṣẹ́ tí a ti rú (120°C, ìfúnpá 2 bar) fún wákàtí kan láti mú iyọ̀ tí ó lè yọ́ kúrò nínú omi (fún àpẹẹrẹ, ammonium sulfate, sodium chloride). A ti yọ́ omi kúrò nínú ìpele omi náà, a sì tún lò ó fún ìgbà méjì sí mẹ́ta títí tí ìṣiṣẹ́ rẹ̀ yóò fi ≤5 μS/cm.
2. Ìfàmọ́ra àti Ìṣàlẹ̀-Ọ̀pọ̀-Ìpele
- oIlẹ̀ Ayé Diatomaceous/Ìfàmọ́ra Erogba Tí A Ṣiṣẹ́:
A fi ilẹ̀ diatomaceous (0.5–1%) àti erogba tí a ti ṣiṣẹ́ (0.2–0.5%) kún sulfur tí ó yọ́ lábẹ́ ààbò nitrogen (130°C, ìrúpọ̀ wákàtí méjì) láti fa àwọn èròjà irin àti àwọn ohun alààyè tí ó kù sínú ara wọn. - oÌṣàlẹ̀ Ìpele Púpọ̀:
Ìṣàlẹ̀ ìpele méjì nípa lílo àwọn àlẹ̀mọ́ titanium sintered (iwọn ihò 0.1 μm) ní ≤0.5 MPa titẹ ètò. Iye àwọn èròjà lẹ́yìn ìṣàlẹ̀: ≤10 àwọn èròjà/L (iwọn >0.5 μm).
II. Ilana Distillation Vacuum Ipele Pupo
1. Ìyọkúrò Ẹ̀gbin Irin Àkọ́kọ́ (Yíyọ Ẹ̀gbin Irin)
- oÀwọn ohun èlò: Ọwọ̀n ìtújáde quartz tó mọ́ tónítóní pẹ̀lú ìdìpọ̀ irin alagbara 316L (≥15 àwọn àwo ìwádìí), afẹ́fẹ́ ≤1 kPa.
- oÀwọn Ìlànà Iṣẹ́:
- oIwọn otutu ifunni: 250–280°C (sulfu ń hó ní 444.6°C lábẹ́ ìfúnpá àyíká; ìgbálẹ̀ dín ibi gbígbóná kù sí 260–300°C).
- oÌpíndọ́gba Ìyípadà: 5:1–8:1; ìyípadà ìgbóná ara òkè ọ̀wọ̀n ≤±0.5°C.
- oỌjà: Ìmọ́tótó sulfur tó dìpọ̀ ≥99.99% (ìpele 4N), àpapọ̀ àwọn ohun ìdọ̀tí irin (Fe, Cu, Ni) ≤1 ppm.
2. Ìyọkúrò Ẹ̀gbin Aláìmọ́ ...
- oÀwọn ohun èlò: Ẹ̀rọ ìtújáde moleku oní-ẹ̀rọ kukuru pẹlu àlàfo ìtújáde-ìtújáde 10–20 mm, iwọn otutu ìtújáde 300–320°C, ìtújáde ≤0.1 Pa.
- oÌyàsọ́tọ̀ Ẹ̀gbin:
Àwọn ohun èlò oníná tí kò gbóná díẹ̀ (fún àpẹẹrẹ, thioethers, thiophene) ni a máa ń tú jáde, tí a sì máa ń kó àwọn ohun èlò oníná tí ó gbóná púpọ̀ (fún àpẹẹrẹ, polyaromatics) sí inú àwọn ohun èlò oníná nítorí ìyàtọ̀ nínú ipa ọ̀nà tí kò ní molecule. - oỌjà: Ìmọ́tótó Súfúrù ≥99.999% (ìpele 5N), èròjà carbon onígbà-ẹ̀dá ≤0.001%, ìwọ̀n ìṣẹ́kù <0.3%.
3. Ṣíṣe àtúnṣe agbègbè kẹta (Ṣíṣe àṣeyọrí mímọ́ 6N)
- oÀwọn ohun èlò: Atunṣe agbegbe petele pẹlu iṣakoso iwọn otutu agbegbe pupọ (±0.1°C), iyara irin-ajo agbegbe 1–3 mm/h.
- oÌyàsọ́tọ̀:
Lilo awọn iye ipinya (K=Csolid/CliquidK=ClíleComi—), agbegbe 20–30 kọja awọn irin ti o ni idapọmọra (As, Sb) ni opin ingot. 10–15% ikẹhin ti ingot sulfur ni a danu.
III. Lẹ́yìn ìtọ́jú àti ìṣẹ̀dá mímọ́ tónítóní
1. Ìyọkúrò epo mímọ́-pupa
- oÌyọkúrò Ether/Carbon Tetrachloride:
A da sulfur po pelu ether chromatographic-grade (ipin iwọn didun 1:0.5) labẹ iranlọwọ ultrasonic (40 kHz, 40°C) fun iṣẹju 30 lati yọ awọn ohun alumọni polar kuro. - oÌgbàpadà epo:
Fífi molecular sieve faucet distillation àti ìfọ́mọ́lẹ̀ vacuum dín àwọn èérún omi kù sí ≤0.1 ppm.
2. Ultrafiltration àti Ion Exchange
- oÀtúnṣe Ultrafilter ti Awọ PTFE:
A máa ń yọ́ sulfur tí a ti yọ́ mọ́ láti inú àwọn awọ ara PTFE tí ó tó 0.02 μm ní ìwọ̀n 160–180°C àti ≤0.2 MPa. - oÀwọn Rẹ́síì Pàṣípààrọ̀ Íọ́nì:
Àwọn resini Chelating (fún àpẹẹrẹ, Amberlite IRC-748) máa ń yọ àwọn ion irin tí ó wà ní ìpele ppb (Cu²⁺, Fe³⁺) kúrò ní ìwọ̀n ìṣàn BV/h 1–2.
3. Ṣíṣẹ̀dá Ayika Mímọ́-Púpọ̀
- oÌtúpalẹ̀ Gaasi Àìsínétí:
Nínú yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 10, a máa fi nitrogen (títẹ̀ 0.8–1.2 MPa) ṣe àtúnsọ sulfur tí ó ní 0.5–1 mm (ọrinrin <0.001%). - oApoti Igbale:
A fi ohun tí a fi ṣe ìkẹ́yìn náà sínú fíìmù àdàpọ̀ aluminiomu lábẹ́ argon tí ó mọ́ gan-an (≥99.9999%) láti dènà ìfàsẹ́yìn.
IV. Àwọn Pílánẹ́ẹ̀tì Ìlànà Pàtàkì
| Ipele Ilana | Iwọn otutu (°C) | Titẹ | Àkókò/Iyára | Ohun èlò pàtàkì |
| Yíyọ́ nínú máìkrówéfù | 140–150 | Ambient | Iṣẹ́jú 30–45 | Riakito Makirowefu |
| Fífọ omi tí a ti yọ ion kúrò | 120 | ọ̀pá méjì | Wákàtí 1/yípo | Alágbára Rirọpo |
| Ìtúpalẹ̀ mọ́kílíkà | 300–320 | ≤0.1 Pa | Títẹ̀síwájú | Ohun èlò ìfọ́mọ́ra molikula kúkúrú |
| Ṣíṣe àtúnṣe agbègbè | 115–120 | Ambient | 1–3 mm/h | Olùtúnṣe Agbègbè Pẹtẹlẹ̀ |
| Àlẹ̀mọ́ PTFE Ultrafilter | 160–180 | ≤0.2 MPa | Ìṣàn omi 1–2 m³/h | Àlẹ̀mọ́ Ìwọ̀n Òtútù Gíga |
| Ìsọdipúpọ̀ Nitrogen | 160–180 | 0.8–1.2 MPa | Àwọn granulu 0.5–1 mm | Ilé Ìṣọ́ Atomization |
V. Iṣakoso ati Idanwo Didara
- oÌwádìí Àìmọ́ Ìtọ́pasẹ̀:
- oGD-MS (Ìwòye Ìtújáde Glow Discharge Mass Spectrometry): Ó ń ṣàwárí àwọn irin ní ≤0.01 ppb.
- oOníṣàyẹ̀wò TOC: Wọ́n ń wọn erogba adayeba ≤0.001 ppm.
- oIṣakoso Iwọn Patikulu:
Ìyípadà lésà (Mastersizer 3000) ń rí i dájú pé ìyàtọ̀ D50 ≤±0.05 mm. - oÌmọ́tótó ojú ilẹ̀:
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) jẹ́rìí sí pé ó nípọn oxide ojú ilẹ̀ ≤1 nm.
VI. Ààbò àti Apẹrẹ Ayíká
- oÌdènà Ìbúgbàù:
Àwọn ohun tí ń ṣe àwárí iná infrared àti àwọn ètò ìkún omi nitrogen ń ṣe ìtọ́jú ìwọ̀n atẹ́gùn <3% - oIṣakoso Itujade:
- oÀwọn Gáàsì Àsìdì: Fífọ NaOH ìpele méjì (20% + 10%) yọ ≥99.9% H₂S/SO₂ kúrò.
- oÀwọn VOC: Rotor Zeolite + RTO (850°C) dinku awọn hydrocarbons ti kii ṣe methane si ≤10 mg/m³.
- oÀtúnlo Ẹ̀gbin:
Dídínkù igbóná gíga (1200°C) ń mú àwọn irin padà bọ̀ sípò; ìwọ̀n sulfur tí ó kù <0.1%.
VII. Awọn Iwọn Eto-ọrọ-Ọna-Ẹrọ
- oLilo Agbara: ina mọnamọna 800–1200 kWh ati eefin 2–3 toonu fun toonu ti sulfur 6N kan.
- oSo eso: Ìgbàpadà efin ≥85%, ìwọ̀n ìṣẹ́kù <1.5%.
- oIye owo: Iye owo iṣelọpọ ~120,000–180,000 CNY/tónì; iye owo ọja 250,000–350,000 CNY/tónì (ìpele semiconductor).
Ilana yii n pese sulfur 6N fun awọn oni-nọmba fọto semiconductor, awọn substrates compound III-V, ati awọn ohun elo ilọsiwaju miiran. Abojuto akoko gidi (fun apẹẹrẹ, itupalẹ elemental LIBS) ati iṣapẹẹrẹ yara mimọ ISO Class 1 rii daju pe didara wa ni ibamu.
Àwọn Àkíyèsí Àkọ́kọ́
- Ìtọ́kasí 2: Àwọn Ìlànà Ìwẹ̀nùmọ́ Sọ́fúrù Ilé Iṣẹ́
- Ìtọ́kasí 3: Àwọn Ọ̀nà Ìyọ́mọ́ Tó Tẹ̀síwájú Nínú Ìmọ̀-ẹ̀rọ Kẹ́míkà
- Ìtọ́kasí 6: Ìwé Ìtọ́sọ́nà Ṣíṣe Àwọn Ohun Èlò Mímọ́ Gíga
- Ìtọ́kasí 8: Àwọn Ìlànà Ìṣẹ̀dá Kẹ́míkà Onípele Semiconductor
- Ìtọ́kasí 5: Ṣíṣe Àtúnṣe Ìmúdàgba Ẹ̀rọ Afẹ́fẹ́
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-02-2025
